南京埃米仪器获得压阻自感应原子力显微镜扫描器专利增大了探针装置和拆取的空间

来源:开云网站    发布时间:2025-05-09 03:27:00

  金融界2024年12月4日音讯,国家知识产权局信息数据显现,南京埃米仪器科技有限公司获得一项名为“压阻自感应原子力显微镜扫描器”的专利,授权公告号CN 222086909 U,请求日期为 2024年3月。

  专利摘要显现,本实用新型公开了一种压阻自感应原子力显微镜扫描器,包含十字移动部、根底板和Z移动部,所述十字移动部设置在根底板内,Z移动部与根底板侧边上的X‑Y位移输出端口衔接;十字移动部包含X‑Y弹性移动铰链,X‑Y弹性移动铰链在X移动组件和Y移动组件的效果下沿根底板X、Y方向移动,Z移动部中的Z弹性移动铰链在Z移动组件的效果下沿根底板Z方向移动长处装置有探针的探针装置座设置在Z移动部上,经过Z移动部内的Z弹性铰链带动探针Z向运动,把Z移动部装置在根底板的外部,与十字移动部衔接,确保了扫描器能在X、Y、Z三个方向上移动的一起也增大了探针装置和拆取的空间,操作快捷,避免了探针拆装过程中探针损坏的问题。

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